微孔的孔徑分析與介孔和大孔分析有何不同?
硬件上的不同:
微孔孔徑分析,需要二級(jí)渦輪分子泵,氮?dú)庀鄬?duì)壓力P/P0才能夠達(dá)到10-7-10-8的要求,才能實(shí)現(xiàn)超微孔(0.35nm-0.7nm)的分析;同時(shí),需要小量程、高精度壓力傳感器(10 torr、1 torr或0.1 torr)的合理使用。介孔、大孔孔徑分析,僅需要機(jī)械泵及1000 torr大量程壓力傳感器即可實(shí)現(xiàn)。
軟件上的不同:
微孔孔徑分析,理論模型一般使用的是HK法、SF法,及DFT法。介孔、大孔孔徑分析,理論模型一般使用的是BJH法。